典型的mems竞猜计算器足球让球胜平负胜平负流程与步骤介绍
2021-08-25
博研小编要提醒大家，mems竞猜计算器足球让球胜平负胜平负工艺是指所有工艺都是在圆片表面进行的MEMS制造工艺。表面微加工中，采用低压化学气相淀积这一类方法来获得作为结构单元的薄膜。表面微加工工艺采用若干淀积层来制作结构，然后释放部件，允许它们做横向和纵向的运动，从而形成MEMS执行器。
常见的mems竞猜计算器足球让球胜平负胜平负材料是LPVCD淀积的多晶硅，多晶硅性能稳定且各向同性，通过仔细控制淀积工艺可以很好的控制薄膜应力。此外，表面微加工工艺与集成电路生产工艺兼容，且集成度较高。
下面结合北京大学微系统所的MEMS标准工艺，以一个MEMS中主要的结构为例介绍一下mems竞猜计算器足球让球胜平负胜平负工艺的具体流程：
1.硅片准备
2.热氧生长二氧化硅(SiO2)作为绝缘层
3.LPCVD淀积氮化硅(Si3N4)作为绝缘及抗蚀层
4.LPCVD淀积多晶硅1(POLY1)作为底电极
5.多晶硅掺杂及退火
6.光刻及腐蚀POLY1，图形转移得到POLY1图形
7.LPCVD磷硅玻璃(PSG)作为牺牲层
8.光刻及腐蚀PSG，图形转移得到BUMP图形
9.光刻及腐蚀PSG形成锚区
10.LPCVD淀积多晶硅2(POLY2)作为结构层
11.多晶硅掺杂及退火
12.光刻及腐蚀POLY2，图形转移得到POLY2结构层图形
13.溅射铝金属(Al)层
14.光刻及腐蚀铝层，图形转移得到金属层图形
15.释放得到活动的结构
至此，我们利用mems竞猜计算器足球让球胜平负胜平负工艺完成了一个结构的制作。这个工艺流程中共有五块掩膜版，分别是：
1.POLY1，用的是阳版，形成的多晶用来提供机械层的电学连接，地极板或屏蔽电极;
2.BUMP，用的是阴版，在牺牲层上形成凹槽，使得以后形成的多晶硅机械层上出现小突起，减小在释放过程或工作过程中机械层与衬底的接触面积，起一定的抗粘附作用;
3.ANCHOR，用的是阴版，在牺牲层上刻孔，形成机械层在衬底上的支柱，并提供电学连接;
4.POLY2，用的是阳版，用来形成多晶硅机械结构;
5.METAL，用的是阳版，用来形成电连接或测试接触。
典型的mems竞猜计算器足球让球胜平负胜平负步骤即为以上这些，博研小编认为其他结构的加工过程也可以以此类推。
上一篇：
MEMS加工工艺的起源及流程是什么 下一篇：
MEMS加工精度是多少？
